半导体行业无尘室如何加湿?有效加湿方案!

文章作者:中净环境 发布时间:2022-03-24 18:09:26 浏览次数:

[导读:]现在的半导体行业因为产品要求,一般都是需要在无尘室中完成,这样既能保证产品的质量,同时也能提高我们的效率,那么半导体无尘室如何加湿呢?

现在的半导体行业因为产品要求,一般都是需要在无尘室中完成,这样既能保证产品的质量,同时也能提高我们的效率,那么半导体无尘室如何加湿呢?下面中净为大家带来有效加湿方案。

现阶段半导体无尘室对温度湿度的操纵范畴通常为:溫度22+/-0.5℃,环境湿度45+/-3%RH。文中根据对目前净化室温湿度记录自动控制系统的科学研究,引进控制器设计,以提升温湿度记录操纵的预期效果。对气体单纯性地加温或致冷(未做到饱和)全过程,是含湿量不变的全过程,即相对湿度不变的全过程。饱和蒸汽通过风机盘管加温,溫度上升而空气湿度降低。

1、选用加湿器对半导体无尘室加湿:采用虹吸现象做雾化系统软件基本原理,分离出来的压缩空气和液态在精制的不锈钢板喷嘴处汇聚,完成二级做雾化得到较好的喷雾器实际效果,喷雾器颗粒物直徑为5-10um。喷雾器颗粒物在空气中飘浮时,吸咐空气中的烟尘,而且持续报团凝结,之后受品质扩大受作用力的作用下移,进而到达净化室内空气的实际效果,等同于给气体装了一层滤网。“雾王”蟹钳型喷头互撞构造完成三级汽化,比一般的二液体加湿器做雾化更细致;3.3万-4万HZ声多次做雾化剪截水颗粒物,粒度在5-7.5μm,确保加湿地区路面及机器设备表层不浸湿、不冷凝水、不返潮。

2、选用针对净化室的温湿度记录操纵,最首要的二块是新风空调箱和干风机盘管。新风空调箱除开要确保外部空气通过在其中的初、中合高效过滤网,把空气中的烟尘颗粒物过虑掉外,还需要依据净化室里边的温湿度记录状况调节排气口的温湿度记录,以确保送进的新风系统在规范的温湿度记录范畴内。而干风机盘管是依据净化室里边安裝的温湿度传感器精确测量的值来调节干风机盘管凉水阀的开启度,从而调整送风和排风混和后的温湿度记录,以确保达到半导体加工工艺的温湿度记录要求。

3、在半导体无尘室的温湿度记录处理方式中,为了更好地处理去湿问题,通常选用环境湿度优先选择的方式,凉水阀关键用于去湿,与此同时也导致溫度的降低,随后根据开水阀的再热,使温湿度记录均能做到所需求的值。那样的作法尽管可以考虑设计规定,但在非常多的情况下,冷水热水阀使动能互相相抵,导致了新能源的消耗。


以上就是中净为大家介绍的“半导体无尘室加湿方案”,希望能对您有所帮助。我们既可以通过加湿器来解决,同时也可以采用其它的加湿系统来完成。

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